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PT-5000G-500 精密狹縫涂布試驗(yàn)機(jī)
高精密狹縫模頭
真空吸附平臺
一機(jī)多能

規(guī)格型號:PT-5000G-500

數(shù)據(jù)指標(biāo):基板平整度 <10u 基板浸潤性<15° 基板溫度 23±2℃

產(chǎn)品介紹
PT-5000G精密涂布實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)是我司專為實(shí)驗(yàn)研發(fā)而設(shè)計(jì)的一種新型高精度,高可靠,高穩(wěn)定性的實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)。該設(shè)備特點(diǎn)是:搭配自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度涂膠Pump、高精密狹縫模頭,將藥液均勻涂覆在剛性基片上,制備具有較高膜厚均一性的大面積薄涂層。

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產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品特點(diǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品參數(shù)
500000.jpg

PT-5000G精密涂布實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)是我司專為實(shí)驗(yàn)研發(fā)而設(shè)計(jì)的一種新型高精度,高可靠,高穩(wěn)定性的實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)。該設(shè)備特點(diǎn)是:搭配自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度涂膠Pump、高精密狹縫模頭,將藥液均勻涂覆在剛性基片上,制備具有較高膜厚均一性的大面積薄涂層。

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2.1.1適用基板

1)

基板尺寸

500mm*500mm

2)

基板平整度

10u

3)

基板浸潤性

15°

4)

基板溫度

23±2℃

2.1.2適用藥液

1)

類型

異丙醇、DMF、DMSO等有機(jī)溶劑或其它混合溶劑

2)

粘度

1~70CPS

3)

固含量

7%~50%

2.1.3設(shè)備工藝性能

1)

成膜方式

狹縫式涂布

2)

粘度

300nm~10um(干膜)

3)

成膜均一性

片內(nèi)≤5%,片間≤5%


2.3.1涂布模頭

序號

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)

備注

1

材質(zhì)

SUS630

2

涂布寬幅

450mm

3

平面度/直線度

≤3um

4

內(nèi)腔粗糙度

Ra≤0.025

5

狹縫間隙

墊片式,墊片厚度均勻性≤±2um

6

間隙調(diào)節(jié)范圍

≤±10um

7

除邊范圍

≤10mm

8

涂布頭防撞組件

低于唇口20um,有效防止唇口發(fā)生碰撞

9

涂布頭校正

采用高精度直線位移傳感器自動校正

10

排泡設(shè)計(jì)

模頭腔室高位排泡孔

2.3.2涂布泵

序號

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)

備注

1

泵體材質(zhì)

SUS316L

2

密封圈材質(zhì)

耐腐蝕密封圈

3

泵容積

5ml

4

驅(qū)動控制

伺服電機(jī)、滾珠絲桿

5

吐液控制分辨率

0.01ul/s

6

響應(yīng)時(shí)間

0.01s

7

吐液速度

0~2000ul/s

8

最大吐液加速度

2000ul/s2

9

功能配置

1)供液泵補(bǔ)液后自動泄壓功能;

2)出液延時(shí)功能;

3)末端回吸功能

4)自動補(bǔ)液功能;

5)多段式涂布調(diào)節(jié)

2.3.3運(yùn)動組件

序號

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)

1

Z軸數(shù)量

2個(gè)

2

Z軸分辨率

0.1um

3

Z軸驅(qū)動控制

伺服電機(jī)、研磨級絲桿、導(dǎo)軌

4

Z軸重復(fù)定位精度

≤5um

5

Z軸速度區(qū)間

0~50mm/s

6

Y軸驅(qū)動形式

平臺驅(qū)動

7

Y軸驅(qū)動控制

伺服電機(jī)、研磨級絲桿、導(dǎo)軌

8

Y軸速度區(qū)間

0~200mm/s

9

Y軸運(yùn)動面精度

優(yōu)于±5um

10

Y軸重復(fù)精度

≤5um

11

功能配置

1)涂布加速、減速可設(shè)定調(diào)節(jié)

2)Coating Gap可調(diào);

3)末端回吸Gap可調(diào);

2.3.4涂布平臺

序號

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)

備注

1

材質(zhì)

000級花崗巖

2

適配基板尺寸

500*500mm

3

表面平整度

水平度≤±5um

4

基板定位

平臺真空吸附

5

基板對位方式

手動

6

取放片方式

手動

2.3.5供液系統(tǒng)

序號

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)

備注

1

管路材質(zhì)

PFA

2

供液罐

剝離材質(zhì),100ml容積

3

供液方式

罐體加壓

4

清洗罐

不銹鋼材質(zhì)

2.3.6預(yù)涂清洗單元

序號

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)

備注

1

預(yù)涂方式

預(yù)涂平臺

2

模頭唇口清洗

手動

3

浸泡、排液槽

設(shè)備閑置、管路清潔、排廢時(shí)使用

2.3.7人機(jī)交互界面

序號

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)

備注

1

觸摸屏

預(yù)涂平臺

2

Log記錄功能

每片基板涂布過程可查看,包含涂布機(jī)各軸在涂布過程中各時(shí)間點(diǎn)速度位置參數(shù)

3

操作權(quán)限

三種操作權(quán)限登錄

設(shè)備手動、半自動、自動動作可全部在界面進(jìn)行操作


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